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制備氟化鉿的方法有干法氟化法和濕法氟化法，這兩種方法一般都采用HfO2為原料制備。其中干法氟化法包括氟化氫(HF)氣體氟化法和氟化氫銨(NH4HF2)氟化法，氟化氫氣體氟化法反應溫度高，操作危險性高，尾氣回收困難；NH4HF2法操作相對安全
