氟化釔為凝膠狀物質(zhì)，熔點(diǎn)1387℃，沸點(diǎn)2230℃，相對密度4.01。不溶于水和稀酸。制備方法:氧化釔與無水氟氫在700℃反應(yīng)8小時(shí)，氧化釔與30％以上的二氟化銨在300℃反應(yīng)12小時(shí)。氟化釔是一種毒性較小的物質(zhì)，毒性風(fēng)險(xiǎn)為四級(jí)，對皮膚和眼睛無明顯刺激。氟化釔的富集能力較弱。

用氟化釔代替氟化鋰作為電子注入層材料，金屬鋁作為陰極，制備了有機(jī)電致發(fā)光器件。其中YF3厚度為1.2 nm的器件，*小發(fā)光電壓為2.6 V，*高電流效率為8.52 CD·a-1，*大亮度為36530 CD·m-2。與鋰氟參比樣品相比，*大亮度和電流效率分別提高了39％和53％。