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什么是氧化鎵？

2021-01-23 16:00:32
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什么是氧化鎵？

氧化鎵（Ga2O3）是一種新興的超寬帶隙（UWBG）半導(dǎo)體，擁有4.8eV的超大帶隙。作為對(duì)比，SiC和GaN的帶隙為3.3eV，而硅則僅有1.1eV，那就讓這種新材料擁有更高的熱穩(wěn)定性、更高的電壓、再加上其能被廣泛采用的天然襯底，讓開發(fā)者可以輕易基于此開發(fā)出小型化，高效的大功率晶體管。這也是為什么在以SiC和GaN為代表的寬帶隙（WBG）半導(dǎo)體器件方面取得了巨大進(jìn)步的時(shí)候，Ga2O3仍然吸引了開發(fā)者的廣泛興趣。

氧化鎵

從器件的角度來看，Ga2O3的Baliga品質(zhì)因子要比SiC高出二十倍。對(duì)于各種應(yīng)用來說，陶瓷氧化物的帶隙約為5eV，遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于SiC和GaN的帶隙，后兩者都不到到3.5eV。因此，這種陶瓷氧化物器件可以承受比SiC或GaN器件更高的工作電壓，導(dǎo)通電阻也更低。

另一個(gè)角度看，易于制造的天然襯底，載流子濃度的控制以及固有的熱穩(wěn)定性也推動(dòng)了Ga2O3器件的發(fā)展。相關(guān)論文表示，用Si或Sn對(duì)Ga2O3進(jìn)行N型摻雜時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)良好的可控性。盡管某些UWBG半導(dǎo)體（例如AlN，c-BN和金剛石）在BFOM圖表中擊敗了Ga2O3，但它們的廣泛使用受到了嚴(yán)格的限制。換而言之，AlN，c-BN和金剛石仍然缺乏高質(zhì)量外延生長的合適襯底。

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氧化鎵氧化銦


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