氧化鎵(β-Ga2O3)作為繼GaN和SiC之后的下一代超寬禁帶半導(dǎo)體材料,其禁帶寬度約為4.8 eV,理論擊穿場強(qiáng)為8 MV/cm,電子遷移率為300 cm2/Vs,因此β-Ga2O3具有4倍于GaN,10倍于SiC以及3444倍于Si的Baliga技術(shù)指標(biāo)。氧化銦同時(shí)通過熔體法可以獲得低缺陷密度的大尺寸β-Ga2O3襯底,使得β-Ga2O3器件的成本相比于GaN以及SiC器件更低。隨著高鐵、電動(dòng)汽車以及高壓電網(wǎng)輸電系統(tǒng)的快速發(fā)展,全世界急切的需要具有更高轉(zhuǎn)換效率的高壓大功率電子電力器件。連云港氧化銦β-Ga2O3功率器件在與GaN和SiC相同的耐壓情況下,導(dǎo)通電阻更低、功耗更小、更耐高溫、能夠極大地節(jié)約上述高壓器件工作時(shí)的電能損失,因此Ga2O3提供了一種更高效更節(jié)能的選擇。
氧化銦的合成方法有哪些?將高純金屬銦在空氣中燃燒或?qū)⑻妓徙熿褵蒊n2O、InO、In2O3,精細(xì)控制還原條件可制得高純In2O3。高純氧化銦價(jià)格也可用噴霧燃燒工藝制得平均粒徑為20nm的三氧化二銦陶瓷粉。將氫氧化銦灼燒制備三氧化二銦時(shí),溫度過高的話,In2O3有熱分解的可能性,若溫度過低則難以完全脫水,而且生成的氧化物具有吸濕性,因此,加熱溫度和時(shí)間是重要的因素。另外,因?yàn)镮n2O3容易被還原,所以必須經(jīng)常保持在氧化氣氛中。氧化銦將氫氧化銦在空氣中,于850℃灼燒至恒重,生成In2O3,再在空氣中于1000℃加熱30min。其他硝酸銦、碳酸銦、硫酸銦在空氣中灼燒也可以制得三氧化二銦。
鎵的市場小,很容易受外界的影響,中鋁河南、遵義工廠的開工使鎵的供應(yīng)增加,市場對(duì)后市供應(yīng)可能會(huì)再度過剩的恐慌情緒對(duì)價(jià)格產(chǎn)生影響,造成鎵的價(jià)格難以維持平穩(wěn),鎵的進(jìn)行價(jià)格調(diào)整期。氧化銦需要指出的是,目前鎵的價(jià)格已經(jīng)接近生產(chǎn)成本線,后續(xù)鎵的生產(chǎn)將進(jìn)入虧本經(jīng)營,鎵市場降價(jià)趨勢(shì)的過早來臨改變了本年度下游對(duì)市場的預(yù)期,2017年的最后一個(gè)多月,鎵市場將會(huì)進(jìn)入煎熬的調(diào)整期。氧化銦價(jià)格下周鎵的市場預(yù)期仍不被看好,將穩(wěn)中有降低。
生產(chǎn)工藝技術(shù)及設(shè)備經(jīng)過多年來的研究和生產(chǎn)實(shí)踐后,目前從含鈧原料中提取Sc2O3的工藝技術(shù)有下列幾種方法:①萃取法。氧化銦生產(chǎn)中使用較多,其具有產(chǎn)量大、質(zhì)量好、回收率高、成本低及生產(chǎn)中可連續(xù)作業(yè)的特點(diǎn)。②離子交換法。生產(chǎn)中也常被采用。其具有產(chǎn)量小,純度較高,收率較低,成本較高及生產(chǎn)周期長的特點(diǎn)。③萃淋樹脂色層法。其具有生產(chǎn)周期短,純度高,收率高和成本低的特點(diǎn)。④液膜萃取法。高純氧化銦它是膜分離與液液萃取相結(jié)合的一種新型分離技術(shù)。
氧化鎵是一種新興的功率半導(dǎo)體材料,其禁帶寬度大于硅,氮化鎵和碳化硅,在高功率應(yīng)用領(lǐng)域的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)愈加明顯。氧化銦但氧化鎵不會(huì)取代SiC和GaN,后兩者是硅之后的下一代主要半導(dǎo)體材料。氧化銦價(jià)格氧化鎵更有可能在擴(kuò)展超寬禁帶系統(tǒng)可用的功率和電壓范圍方面發(fā)揮作用。而最有希望的應(yīng)用可能是電力調(diào)節(jié)和配電系統(tǒng)中的高壓整流器,如電動(dòng)汽車和光伏太陽能系統(tǒng)。但是,在成為電力電子產(chǎn)品的主要競爭者之前,氧化鎵仍需要開展更多的研發(fā)和推進(jìn)工作,以克服自身的不足。
對(duì)于蒸發(fā)鍍膜:一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。氧化銦厚度均勻性主要取決于:1、基片材料與靶材的晶格匹配程度;2、基片表面溫度;3、蒸發(fā)功率,速率;4、真空度;5、鍍膜時(shí)間,厚度大小。組分均勻性:蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對(duì)于非單組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。連云港氧化銦晶向均勻性:1、晶格匹配度;2、基片溫度;3、蒸發(fā)速率
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