目前,以碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)為代表的第三代化合物半導(dǎo)體受到的關(guān)注度越來(lái)越高,它們?cè)谖磥?lái)的大功率、高溫、高壓應(yīng)用場(chǎng)合將發(fā)揮傳統(tǒng)的硅器件無(wú)法實(shí)現(xiàn)的作用。氧化銦特別是在未來(lái)三大新興應(yīng)用領(lǐng)域(汽車、5G和物聯(lián)網(wǎng))之一的汽車方面,會(huì)有非常廣闊的發(fā)展前景。氧化鎵是一種寬禁帶半導(dǎo)體,禁帶寬度Eg=4.9eV,其導(dǎo)電性能和發(fā)光特性良好,因此,其在光電子器件方面有廣闊的應(yīng)用前景,被用作于Ga基半導(dǎo)體材料的絕緣層,以及紫外線濾光片。氧化銦粉末這些是氧化鎵的傳統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域,而其在未來(lái)的功率、特別是大功率應(yīng)用場(chǎng)景才是更值得期待的。
氧化鍺,具有半導(dǎo)體性質(zhì)。對(duì)固體物理和固體電子學(xué)的發(fā)展超過(guò)重要作用。氧化銦鍺的熔密度5.32克/厘米3,鍺可能性劃歸稀散金屬,鍺化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,常溫下不與空氣或水蒸汽作用,但在600~700℃時(shí),很快生成二氧化鍺。與鹽酸、稀硫酸不起作用。濃硫酸在加熱時(shí),鍺會(huì)緩慢溶解。在硝酸、王水中,鍺易溶解。堿溶液與鍺的作用很弱,但熔融的堿在空氣中,能使鍺迅速溶解。寧波氧化銦鍺與碳不起作用,所以在石墨坩堝中熔化,不會(huì)被碳所污染。鍺有著良好的半導(dǎo)體性質(zhì),如電子遷移率、空穴遷移率等等。
于從含鈧礦物中直接提取鈧制品較困難,因而目前主要從處理含鈧礦物的副產(chǎn)物如廢渣、廢水、煙塵、赤泥中回收和提取氧化鈧,再以高純氧化鈧制備金屬鈧、鈧鋁中間合金、鈧鹽等鈧產(chǎn)品。氧化銦據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2019-2023年中國(guó)鈧產(chǎn)品行業(yè)市場(chǎng)供需現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)預(yù)測(cè)報(bào)告 》。哪里有氧化銦粉末目前從工業(yè)廢液中直接提取鈧的工藝主要有三種:溶劑萃取法、化學(xué)沉淀法、離子交換法。
鎵可用于醫(yī)療診斷,例如使用枸櫞酸鎵(67Ga)來(lái)診斷肺癌和肝癌等。氧化銦鎵的合金還可以應(yīng)用到醫(yī)療器件和醫(yī)用材料中,例如使用鎵合金作為牙齒填充材料,使用“銦鎵合金”制作體溫計(jì)等。鎵可用于醫(yī)療診斷,例如使用枸櫞酸鎵(67Ga)來(lái)診斷肺癌和肝癌等。氧化銦粉末鎵的合金還可以應(yīng)用到醫(yī)療器件和醫(yī)用材料中,例如使用鎵合金作為牙齒填充材料,使用“銦鎵合金”制作體溫計(jì)等。
對(duì)于不同的濺射材料和基片,參數(shù)需要實(shí)驗(yàn)確定,是各不相同的。哪里有氧化銦粉末鍍膜設(shè)備的好壞主要在于能否精確控溫,能否保證好的真空度,能否保證好的真空腔清潔度。氧化銦MBE分子束外沿鍍膜技術(shù),已經(jīng)比較好的解決了如上所屬的問(wèn)題,但是基本用于實(shí)驗(yàn)研究,工業(yè)生產(chǎn)上比較常用的體式鍍膜機(jī)主要以離子蒸發(fā)鍍膜和磁控濺射鍍膜為主。
氧化鎵(β-Ga2O3)作為繼GaN和SiC之后的下一代超寬禁帶半導(dǎo)體材料,其禁帶寬度約為4.8 eV,理論擊穿場(chǎng)強(qiáng)為8 MV/cm,電子遷移率為300 cm2/Vs,因此β-Ga2O3具有4倍于GaN,10倍于SiC以及3444倍于Si的Baliga技術(shù)指標(biāo)。氧化銦同時(shí)通過(guò)熔體法可以獲得低缺陷密度的大尺寸β-Ga2O3襯底,使得β-Ga2O3器件的成本相比于GaN以及SiC器件更低。隨著高鐵、電動(dòng)汽車以及高壓電網(wǎng)輸電系統(tǒng)的快速發(fā)展,全世界急切的需要具有更高轉(zhuǎn)換效率的高壓大功率電子電力器件。寧波氧化銦β-Ga2O3功率器件在與GaN和SiC相同的耐壓情況下,導(dǎo)通電阻更低、功耗更小、更耐高溫、能夠極大地節(jié)約上述高壓器件工作時(shí)的電能損失,因此Ga2O3提供了一種更高效更節(jié)能的選擇。
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